氮化鋁陶瓷具有優(yōu)良的熱、電、力學(xué)性能,引起了國內(nèi)外研究者的廣泛關(guān)注,最近一段時(shí)間里國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展非常迅速,對(duì)氮化鋁陶瓷加熱盤的需求也逐漸增多。氮化鋁陶瓷加熱盤主要是依賴進(jìn)口。但是現(xiàn)在受到國際上的各種因素影響,我們現(xiàn)在必須走出一條自己的半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展道
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半導(dǎo)體陶瓷手臂是用來在半導(dǎo)體行業(yè)當(dāng)中轉(zhuǎn)運(yùn)晶圓的,這種機(jī)械手臂對(duì)精度要求非常高,還要有極低的熱膨脹系數(shù),還要耐磨。這樣的材料一般我們都會(huì)使用陶瓷材料來制作,常見的要用高純度的氧化鋁陶瓷,或者使用碳化硅陶瓷來做。想要生產(chǎn)半導(dǎo)體陶瓷手臂需要有對(duì)陶瓷材料精密加工
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